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INCA WAVE波譜儀是SEM中很少采用與EPMA相同的全聚焦幾何設計的波譜儀。這意味著分辨率提高了2倍，測量更加穩定且可重復。

WAVE是一種以其工程精度和質量而聞名的全聚焦光譜儀。WAVE光譜儀的內部組件(晶體、探測器和測角儀)以高精度完全協調運行，以保持正確的衍射條件，且測量是可重復的。

• WAVE光譜儀的安裝有水平傾斜的Rowland圓，因此樣品的垂直定位精度并不重要。這使得所有用戶都可以輕松采集重復性的結果。它不需要光學顯微鏡來設定（平行束波譜儀需要）

• 光譜分辨率低至2eV，可輕松區分密集的x射線

• 出色的檢出限，許多元素的檢測下限小于100ppm

• 標準能量范圍高達10.8 kev(可選15keV)

• 采用XPP基體校正算法進行準確的定量分析

• 已經超過25年的發展完善，可靠牢固的機械設計

• 可成功安裝在常規，低真空，環掃，場發射等多種SEM上

• 已通過驗證，適用于多種類型的樣品，包括使用低束流(<5nA)條件下輕元素和高空間分辨率檢測