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牛津儀器快速掃描電容顯微鏡
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牛津儀器科技（上海）有限公司
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牛津儀器快速掃描電容顯微鏡
6312
掃描電容顯微鏡（SCM）是一種表征材料納米電學(xué)性質(zhì)的原子力顯微鏡（AFM）成像技術(shù)，它使用微波射頻（RF）信號(hào)來(lái)探測(cè)半導(dǎo)體和其它種類樣品中的電荷，載流子的位置，摻雜水平和摻雜類型（p型和n型）等。全新快速掃描電容顯微鏡 SCM可以在牛津儀器的 Asylum Research 的快速掃描 Cypher 和 Jupiter XR AFM 平臺(tái)上使用。
牛津儀器Asylum Research SCM模式的獨(dú)特之處在于，它不僅可以測(cè)量微分電容（dC/dV），還可以測(cè)量分辨率低至1aF的電容，而且是可以直接測(cè)量電容。與傳統(tǒng)的SCM相比，它具有更高的分辨率和更快的掃描速度。更高的靈敏度允許探測(cè)金屬和絕緣體，以及傳統(tǒng)半導(dǎo)體器件以外的非線性材料——包括那些不形成自然氧化物層的材料。
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牛津儀器快速掃描電容顯微鏡
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