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高分辨率高倍顯微鏡

高分辨率高倍顯微鏡飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 是*的集成化成像分析系統(tǒng)。借助該系統(tǒng),既可觀察樣品的表面形貌,又可分析其元素組分。

 

 

研究樣品時,得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設(shè)計的能譜探測器,飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題。

 

 

高分辨率高倍顯微鏡能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是完全集成設(shè)計在飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 系統(tǒng)中。

 

 

Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實現(xiàn)多點分析,檢測樣品的元素組分。此外,該軟件還可以擴展到元素分析線面掃(mapping)功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。

 

 

 

 

Phenom ProX 主要技術(shù)參數(shù)

 

光學(xué)放大20 - 135 X
電子放大80 - 150,000 X
分辨率優(yōu)于 8 nm
數(shù)字放大Max 12 X
光學(xué)導(dǎo)航相機彩色
加速電壓5 Kv - 15 Kv 連續(xù)可調(diào)
真空模式

標(biāo)準(zhǔn)模式

降低荷電效應(yīng)模式

探測器背散射電子探測器
樣品尺寸zui大直徑 32 mm
樣品高度zui高 100 mm




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