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>垂直氧化爐—8寸

垂直氧化爐—8寸

垂直氧化爐—8寸

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青島華旗科技有限公司

山東

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

華旗科技

型號：

垂直氧化爐—8寸

關注度：

1033

產品介紹

垂直氧化系統用于IC集成電路、MEMS、電力電子器件、光電子器件等領域，6"、8"晶圓的氧化、合金、退火等工藝。

產品性能：

*垂直結構，高效產能，150片/批

*穩定優良的成膜均勻性，重復性好

*微環境低氧控制先進技術

*硅片顆粒度控制穩定，國際標準

*全自動流程，盒對盒，AGV對接

配套工藝：


*氧化：干氧/濕氧（DCE, HCL）

*氮、氫退火，燒結、合金，固化等

*快速熱退火


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