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簡(jiǎn)介：本設(shè)備為臥式高溫石墨化爐，為石墨烯散熱膜、PI膜等石墨化工藝專用設(shè)備，兼有一般高溫氣 氛爐使用功能。設(shè)備由爐體、中頻加熱系統(tǒng)、充放氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、 電氣控制系統(tǒng)、水冷卻系統(tǒng)等組成。

特色與優(yōu)勢(shì)：

 中頻加熱系統(tǒng)設(shè)計(jì)：熱場(chǎng)采用 IGBT 中頻電源通過(guò)感應(yīng)器感應(yīng)內(nèi)部高純石墨坩堝作發(fā)熱體。感應(yīng)器為方型圓周 螺旋式排布，三段線圈分布，通過(guò)支撐座固定在爐體內(nèi)部。感應(yīng)器內(nèi)選用剛玉磚作為絕緣體，石墨坩堝采用高純石墨加工，拼接組成，具有純度高，無(wú)揮發(fā)，有效保證爐腔內(nèi)的清潔度等優(yōu)點(diǎn)。采用石墨軟氈耐溫效果好，耐沖擊性好，可實(shí)現(xiàn)耐受 3000 度的高溫。中頻電源采用 IGBT 中頻電源系統(tǒng)，相較傳統(tǒng)的 KGPS 電源節(jié)能 15-20%左右， 電效率高, 可達(dá)95%以上，高次諧波少，對(duì)電網(wǎng)污染少，不會(huì)干擾電網(wǎng)內(nèi)其它設(shè)備運(yùn)行。

 充放氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)：本設(shè)備配置一路自動(dòng)充放氣系統(tǒng)，由流量計(jì)、電磁閥、手閥、壓力傳感器、接頭等組成。 由壓力傳感器及電磁閥形成閉環(huán)控制系統(tǒng)，可對(duì)爐內(nèi)氣氛壓力進(jìn)行控制。 當(dāng)爐壓超過(guò)設(shè)定值 時(shí)，排氣閥自動(dòng)打開(kāi)，進(jìn)行泄壓。手閥可以根據(jù)實(shí)際情況，適當(dāng)調(diào)整氣體流量。 同時(shí)，充入 適量的惰性氣體可以調(diào)節(jié)爐內(nèi)真空氛圍。

 電氣控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)：電氣控制系統(tǒng)有觸摸屏、電氣柜、接觸器、互感器、溫控表、指示燈、PLC 等元件組成。主要品牌為施耐德等級(jí)品牌，溫控表采用歐陸品牌可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀表， 控溫精度±1℃ ，具有PID 調(diào)節(jié)、超溫報(bào)警、斷偶指示、溫度補(bǔ)償?shù)裙δ堋?/span>