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XTC/3薄膜鍍層控制儀

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產(chǎn)品介紹

簡介

先進(jìn),實(shí)用的單層和多層鍍膜速率控制

用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3

裝備有ModeLock1**技術(shù),提供驗(yàn)證的模式跳躍防止功能,可達(dá)到始終如一的鍍膜質(zhì)量. 使用XTC/3薄膜鍍層控制儀,可高度精確地控制鍍膜速率與膜層厚度, 具有能控制幾乎任何膜層數(shù)量的能力,容易安裝,和極高的可靠性,可確保高的生產(chǎn)率.

特 點(diǎn)

■ 有單膜層和多膜層型號

■ ModeLock**技術(shù)防止由于模式跳躍導(dǎo)致的膜厚誤差

■ 支持INFICON Crystal 12, CrystalSix®和雙傳感器自動晶體切換,用于**生產(chǎn)率

■ XTC/3M多膜層型號支持多至99個工藝過程, 999個膜層, 32個鍍層, 2個傳感器和兩個源

■ XTC/3S單膜層型號支持多至9個鍍層, 2個傳感器和兩個源

■ 易閱讀的TFT LCD圖形顯示器

■ 為便于檢索,可指定獨(dú)特的和描述性的薄膜與過程名稱

■ 有以太網(wǎng)連接件

■ 單獨(dú)運(yùn)行(無需計(jì)算機(jī))或用PC運(yùn)行的Windows®軟件選件

■ INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換件(限于XTC/2功能和指令組)

應(yīng)用:

集成電路執(zhí)照

光學(xué)鍍膜

濺射鍍膜

薄膜太陽能電池制造

OLED制造

產(chǎn)品咨詢

XTC/3薄膜鍍層控制儀

英福康(廣州)真空儀器有限公司

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