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產品介紹

FOP MicroPZ微型滲壓計的設計基于微型MOMS(微光學機械系統)壓力傳感器的非接觸撓度測量技術，制造MOMS壓力傳感器時采用了光刻技術。

MOMS壓力傳感器有一個柔性隔膜，安裝在密封真空腔體的頂部，其壓力測量原理基于法布里-珀羅白光干涉技術。法布里-珀羅腔由兩個反射鏡面組成，一面是柔性隔膜的內表面，另一面是固定在引線光纖端面上的基準光學表面。壓力會導致法布里-珀羅腔的長度發生變化。

由于光纖讀數儀或數據記錄儀可以在各種溫度、電磁干擾（EMI）、濕度和振動條件下一致而準確地測量腔長，因此該系統即使在*惡劣的條件下也能獲得可靠的壓力測量結果。FOP-MicroPZ滲壓計裝有不銹鋼保護套和一塊多孔不銹鋼透水石，從而確保它的機械堅固性，并且不銹鋼透水石能保護傳感元件不受固體顆粒的影響，從而只感測被測流體的壓力。這款傳感器包括外殼在內的總直徑為4.8mm，總長度為54 mm。

這款微型滲壓計是為工業和土木工程應用而設計的。MOMS壓力傳感器是在玻璃和硅片上批量生產的，采用了來自半導體行業的成熟光刻技術。

產品特點

• 高分辨率

• 本質安全

• 不受電磁干擾（EMI）/射頻干擾（RF）/閃電的影響

• 長期可靠性

• 堅固的不銹鋼結構

• 適用于惡劣環境

• 非常小的直徑(4.8mm)

產品應用

• 大壩

• 隧道

• 廢物貯存庫

• 堤防或路堤

技術規范