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單面CMP拋光機

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品牌：

夢啟半導體

型號：

單面CMP拋光機

關注度：

443

產品介紹


參數名稱單位DL-855/4P-CMP
主電源V三相 380
主電機功率KW15
主電機轉速RPM0~85
上盤驅動電機轉速RPM0~70
拋光盤尺寸mm855
加工尺寸寸2-8
工作工位組4
工件盤尺寸
mmΦ305x15
單工位壓力Kg20~300
拋光液流速L/min15（可調）
主盤溫度檢測度±5
設備尺寸（W x D x H）mm1200x1650x2250
設備重量Kg約2450


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