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電弧等離子體沉積系統(tǒng)

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凱戈納斯儀器商貿(mào)(上海)有限公司

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

關(guān)注度:

4439

范圍(量程或細(xì)度):

--

應(yīng)用行業(yè):

適用于元素周期表中大部分高導(dǎo)電性金屬,合金以及半導(dǎo)體。

產(chǎn)品介紹

日本Advance Riko 公司致力于電弧等離子體沉積系統(tǒng)(APD)利用脈沖電弧放電將電導(dǎo)材料離子化,產(chǎn)生高能離子并沉積在基底上,制備納米級(jí)薄膜鍍層或納米顆粒。

電弧等離子體沉積系統(tǒng)利用通過控制脈沖能量,可以在1.5nm到6nm范圍內(nèi)精確控制納米顆粒直徑,活性好,產(chǎn)量高。多種靶材同時(shí)制備可生成新化合物。金屬/半導(dǎo)體制備同時(shí)控制腔體氣氛,可以產(chǎn)生氧化物和氮化物薄膜。高能量等離子體可以沉積碳和相關(guān)單質(zhì)體如非晶碳,納米鉆石,碳納米管 形成新的納米顆粒催化劑。

 

主要應(yīng)用領(lǐng)域: 

 

1、制備新金屬化合物,或制備氧化物和氮化物薄膜(氧氣和氮?dú)夥諊?/span>
2、制備非晶碳,納米鉆石以及碳納米管的納米顆粒;
3、形成新的納米顆粒催化劑(廢氣催化劑,揮發(fā)性有機(jī)化合物分解催化劑,光催化劑,燃料電池電極催化劑,制氫催化劑);
4、用熱電材料靶材制備熱電效應(yīng)薄膜。

 

技術(shù)原理:

1、在觸發(fā)電極上加載高電壓后,電容中的電荷充到陰極(靶材)上;
2、真空中的陽(yáng)極和陰極(靶材)間,電子形成了蠕緩放電,并產(chǎn)生放電回路,靶材被加熱并形成等離子體;
3、通過磁場(chǎng)控制等離子體照射到基底上,形成薄膜或納米顆粒。


材料適用性:

APD適用于元素周期表中大部分高導(dǎo)電性金屬,合金以及半導(dǎo)體。所用原料為直徑10mmX17mm長(zhǎng)圓柱體或管狀體,且電阻率小于0.01 ohm.cm。下面的元素周期表顯示了可制備的材料,綠色代表完全適用,黃色代表在一定條件下適用。

 

設(shè)備特點(diǎn):


 

1. 系統(tǒng)可以通過調(diào)節(jié)放電電容選擇納米顆粒直徑在1.5nm到6nm范圍內(nèi)。

2. 只要靶材是導(dǎo)電材料,系統(tǒng)就可以將其等離子體化。(電阻率小于0.01ohm.cm)。

3. 改變系統(tǒng)的氣氛氛圍,可以制備氧化物或氮化物。石墨在氫氣中放電能產(chǎn)生超納米微晶鉆石。

4. 用該系統(tǒng)制備的活性催化劑效果優(yōu)于濕法制備。

5. Model APD-P支持將納米顆粒做成粉末。Model APD-S適合在2英寸基片上制備均勻薄膜。


 系統(tǒng)參數(shù):

 

1. 真空腔尺寸:400X400X300長(zhǎng)寬高
2. 抽空系統(tǒng):分子泵450L/s
3. 電弧等離子體源:標(biāo)配一個(gè),*多3個(gè)
4. 沉積氣壓:真空或者低氣壓氣體(N2, H2,O2,Ar)
5. 靶材:導(dǎo)電材料,外徑10mm,長(zhǎng)17mm
6. 靶材電阻率:小于0.01歐姆厘米
7. 電容:360uF  X5 (可選)
8. 脈沖速度:1,2,3,4,5 Pulse/s
9. 操作界面:觸摸屏
10. 放電電壓:70V-400V (1800uF下**150V)

 

APD-P 粉末容器:直徑95mm 高30mm
形成粉末的速度:13-20cc (隨顆粒尺寸和密度變化)
旋轉(zhuǎn)速度:1-50rpm

 




產(chǎn)品咨詢

電弧等離子體沉積系統(tǒng)

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