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Thermo Scientifific? Apreo SEM 具有*廣泛地適用性，可以 在*短時(shí)間內(nèi)為材料研究人員提供**的成像質(zhì)量。 當(dāng) Apreo 的電子束打開(kāi)，形貌和成分襯度可以同時(shí)被鏡筒內(nèi)探 測(cè)系統(tǒng)呈現(xiàn)：無(wú)需繁瑣操作，即可快速探索并獲取樣品各方面 信息。在高放大倍率下，Apreo 的長(zhǎng)工作距離（如 10mm 分析 工作距離）也能表現(xiàn)出杰出的分辨性能。即使在絕緣、電子束敏 感或磁性的材料上，Apreo的用戶(hù)界面也可以高效地引導(dǎo)操作者 獲得表征該納米結(jié)構(gòu)的**參數(shù)條件。 Apreo 能在短時(shí)間內(nèi) 解決錯(cuò)綜復(fù)雜的研究問(wèn)題，適用于需要多功能以及多用戶(hù)操作 的應(yīng)用場(chǎng)合。 Apreo 是研究納米顆粒、催化劑、粉末和納米器件的理想平臺(tái)， 其創(chuàng)新的末級(jí)透鏡設(shè)計(jì)，絲毫不會(huì)降低對(duì)磁性樣品的分辨能 力。 靜電式末級(jí)透鏡（Apreo C 和 Apreo S）能夠?qū)崿F(xiàn)鏡筒內(nèi) 多種信號(hào)的同時(shí)探測(cè)和高分辨率，而 Apreo S 則結(jié)合靜電、浸 沒(méi)式磁場(chǎng)的復(fù)合透鏡以進(jìn)一步提高低電壓下的分辨率，在 1 kV  加速電壓下的分辨率為 1.0 nm，不需要電子束減速。通過(guò)將浸 沒(méi)式磁透鏡和靜電透鏡組合還可以實(shí)現(xiàn)特有的信號(hào)過(guò)濾功能。 Apreo 擁有透鏡內(nèi)背散射探測(cè)器 T1，其位置緊靠樣品，確保在 較短的時(shí)間內(nèi)獲得**量的采集信號(hào)。與其他背散射探測(cè)器不 同，這種快速的探測(cè)器在導(dǎo)航時(shí)、傾斜時(shí)或工作距離很短時(shí)能 夠始終保持良好的材料襯度。在表征敏感樣品時(shí)，探測(cè)器的優(yōu) 越性能尤為突出，即使電流低至幾 pA，它也能提供清晰的背散 射圖像。Apreo S 復(fù)合末級(jí)透鏡通過(guò)能量過(guò)濾實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的材 料襯度以及絕緣樣品的無(wú)電荷成像，進(jìn)一步提高了 T1 BSE 探 測(cè)器的使用價(jià)值。Apreo 還提供了受歡迎的選配探頭來(lái)補(bǔ)充其 探測(cè)能力，例如定向背散射探測(cè)器(DBS)、STEM 3+ 和低真空氣 體分析探測(cè)器(GAD)。所有這些探測(cè)器都擁有獨(dú)一無(wú)二的軟件控 制分割功能，以便根據(jù)需求選擇*有價(jià)值的樣品信息。

全面實(shí)現(xiàn)納米或亞納米分辨性能，從納米顆粒，粉末，催化 劑和納米器件到塊狀磁性樣品等材料。 ***的背散射電子探測(cè)始終可保證良好的材料襯度，即使 是以低電壓和小束流并以任何傾斜角度對(duì)電子束敏感樣品 進(jìn)行 TV 速率成像是也不例外。 無(wú)比靈活的探測(cè)器可將各個(gè)探測(cè)器分割提供的信息相結(jié) 合，讓用戶(hù)能夠獲得至關(guān)重要的對(duì)比或信號(hào)強(qiáng)度。 各種各樣的荷電緩解策略，包括樣品倉(cāng)壓力**為 500 Pa  的低真空模式，可實(shí)現(xiàn)任何樣品的成像。 **的分析平臺(tái)提供高電子束電流，而且束斑很小。倉(cāng)室支 持三個(gè) EDS 探測(cè)器、共面的 EDS 和 EBSD 以及針對(duì)分析 而優(yōu)化的低真空系統(tǒng)。 樣品處理和導(dǎo)航極容易，具有多用途樣品支架和 Nav-Cam+。 通過(guò)高級(jí)用戶(hù)指導(dǎo)、預(yù)設(shè)和撤消功能為新用戶(hù)提供專(zhuān) 家級(jí)結(jié)果。 高真空模式下成像的羥磷灰石晶體的低能量 (1 keV) 二次電子圖像。

 每個(gè) Apreo 都按標(biāo)準(zhǔn)配備各種用以處理絕緣樣品的策略，包 括：高真空技術(shù)，例如 SmartSCAN?、漂移補(bǔ)償幀積分(DCFI) 和 電荷過(guò)濾。對(duì)于*有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用，Apreo 可提供電荷緩解策 略。其中包括可選的低真空（**為 500 Pa）策略，通過(guò)經(jīng)現(xiàn)場(chǎng) 驗(yàn)證的穿鏡式差分抽氣機(jī)構(gòu)和專(zhuān)用低真空探測(cè)器，不但可以緩 解任何樣品上的電荷，還能提供**的分辨率和較大的分析電 流。 隨著分析技術(shù)的使用越來(lái)越常規(guī)化，Apreo 倉(cāng)室經(jīng)過(guò)全新設(shè)計(jì)， 以便更好地支持不同的配件和實(shí)驗(yàn)。倉(cāng)室*多容納三個(gè) EDS/ WDS 端口，可實(shí)現(xiàn)快速敏感的 X 射線(xiàn)測(cè)量、共面 EDS/EBSD/ TKD 排列并與（冷凍）CL、拉曼、 EBIC 和其他技術(shù)兼容。 所有這些功能都能通過(guò)簡(jiǎn)單的樣品處理和熟悉的 xT UI 獲得， 節(jié)省了新用戶(hù)和專(zhuān)家級(jí)用戶(hù)的時(shí)間。可自定義的用戶(hù)界面提供 了諸多用戶(hù)指導(dǎo)、自動(dòng)化和遠(yuǎn)程操作選項(xiàng)。 通過(guò)所有這些優(yōu)勢(shì)（包括復(fù)合末級(jí)透鏡、高級(jí)探測(cè)和靈活樣品 處理）， Apreo 可提供出色的性能和多功能性，幫助您應(yīng)對(duì)未 來(lái)多年的研究難題。

.8 nm 電子光學(xué)器件 ? 高分辨率場(chǎng)發(fā)射 SEM 鏡筒，配有: – 高穩(wěn)定性肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)糜谔峁┓€(wěn)定的高分辨率分 析電流 – 復(fù)合末級(jí)透鏡：靜電、無(wú)磁場(chǎng)和浸沒(méi)磁技術(shù)結(jié)合而成的物 鏡* – 60° 物鏡幾何結(jié)構(gòu)：支持傾斜較大的樣品 ? 自動(dòng)加熱式光闌，可確保清潔和無(wú)接觸式更換光闌孔 ? 支持低真空*的穿鏡式差分抽氣結(jié)構(gòu)，可減少電子束裙散效 應(yīng)，以實(shí)現(xiàn)*精準(zhǔn)的分析和**的分辨率 ? 載物臺(tái)偏壓在 -4000 V 到 +600 V 之間的電子束減速 ? 持續(xù)的電子束電流控制和經(jīng)過(guò)優(yōu)化的孔隙角度 ? 雙載物臺(tái)掃描偏轉(zhuǎn) ? 輕松安裝和維護(hù)的電子槍 – 自動(dòng)烘烤、自動(dòng)啟動(dòng)、無(wú)需機(jī)械合 軸? 保證的*短燈絲壽命：24個(gè)月 電子束分辨率 ，**工作距離 型號(hào) Apreo C Apreo S 末級(jí)透鏡 靜電式 復(fù)合式 高真空 30 kV (STEM) 0.8nm 15 kV 1.0 nm 0.7 nm 1 kV 1.3 nm 1.0 nm 1 kV (樣品臺(tái)減速) 1.0 nm 0.8 nm 500 V (樣品臺(tái)減速) 0.9 nm 100 V (樣品臺(tái)減速) 1.8 nm 低真空* 15 kV 1.2 nm 3 kV 1

默認(rèn)情況下，在完成*終安裝后的系統(tǒng)驗(yàn)收測(cè)試中將檢驗(yàn)在高真空并啟用浸沒(méi) 模式（如果適用）的情況下電壓為 1 kV 和 30 kV 時(shí)的分辨率。 電子束參數(shù) ? 電子束電流范圍: 1 pA - 400 nA ? 加速電壓: 200 V – 30 kV ? 著陸能量范圍: 20 eV – 30 keV ? **水平視場(chǎng)寬：10 mm 工作距離下為 3.0 mm（對(duì)應(yīng)于 *小 放大倍率 x29） ? 10mm 分析工作距離 1kV 時(shí)電子束分辨率: 1nm 倉(cāng)室 ? 內(nèi)寬: 340 mm ? 分析工作距離: 10 mm ? 12 個(gè)color:rgb(35,31,32);"> 500 Pa ? EDS 出射角度為 35° ? 可同時(shí)安裝三個(gè) EDS 探測(cè)器, 兩個(gè)處于 180° ? 共面的 EDS/EBSD 與樣品臺(tái)的傾斜軸垂直。 探測(cè)器 Apreo 通過(guò)可用探測(cè)器或探測(cè)器的分割部分的任意組合，*多 可同時(shí)探 測(cè)四個(gè)信號(hào)： ? Trinity 探測(cè)系統(tǒng) (透鏡內(nèi)和鏡筒內(nèi)) – T1 分割式透鏡內(nèi)低位探測(cè)器 – T2 透鏡內(nèi)高位探測(cè)器 – T3 鏡筒內(nèi)探測(cè)器* ? ETD – Everhart-Thornley SE 探測(cè)器 ? DBS – 可伸縮分割式透鏡下 BSED* ? 低真空 SE 探測(cè)器* ? DBS-GAD - 安裝在透鏡上的氣體分析 BSED ? STEM 3+ – 可伸縮分割式探測(cè)器（BF、DF、HADF、HAADF)* ? IR-CCD ? Nav-Cam+? - 安裝在倉(cāng)室內(nèi)的樣品導(dǎo)航攝像頭 真空系統(tǒng) ? 完全無(wú)油的真空系統(tǒng) ? 1 × 220 l/s TMP ? 1 × PVP-渦旋泵 ? 2 × IGP ? 倉(cāng)室真空（高真空）< 6.3 × 10-6 mbar（72 小時(shí)抽氣后） ? 抽氣時(shí)間：≤ 3.5 分鐘 ? 可選的低真空模式 ? 倉(cāng)室壓力為 10 到500pa

lor:rgb(35,31,32);">分割和縫合 載物臺(tái)和樣品 類(lèi)型 共心測(cè)角臺(tái)，5 軸電動(dòng) XY 110 × 110 mm 重復(fù)性 < 3.0 μm (0° 傾斜時(shí))  電動(dòng) Z 65 mm 旋轉(zhuǎn) n × 360° 傾斜 -15° / +90° **樣品高度 距共心點(diǎn) 85mm **樣品重量 任意載物臺(tái)位置均為 500g （0°傾斜時(shí)，**為 2kg） **樣品尺寸 可沿 X、Y 軸完全旋轉(zhuǎn)時(shí)直徑為 122  mm（若樣品超過(guò)此限值，則載物臺(tái)行程 或旋轉(zhuǎn)受限） 每個(gè)可選橫桿可容納 6 個(gè) S/TEM 載網(wǎng) ? 晶圓和自定義支架* 系統(tǒng)控制 ? 64 位 GUI (Windows 7)、鍵盤(pán)、可選鼠標(biāo) ? 24 英寸 LCD 顯示屏、WUXGA 1920 × 1200（第二臺(tái)監(jiān)視器 可選） ? 可定制的圖形用戶(hù)界面，*多同時(shí)激活 4 個(gè)視圖 ? 圖像注冊(cè) ? 蒙太奇導(dǎo)航 ? 圖像分析軟件 ? 撤消/重做功能 ? 有關(guān)基本操作/應(yīng)用的用戶(hù)指南 ? 可選操縱桿 ? 可選的手動(dòng)用戶(hù)界面（旋鈕板） 圖像處理器 ? 駐留時(shí)間范圍為 25 納秒 - 25 毫秒/像素 ? ** 6144 × 4096 像素 ? 文件類(lèi)型：TIFF（8、16、24 位）、JPEG 或 BMP ? 單幀或 4 視圖圖像顯示 ? SmartSCAN（256 幀平均或積分、線(xiàn)積分和平均法、隔行 ? 掃描） ? DCFI（漂移補(bǔ)償幀積分） 配件（可選） ? 樣品/倉(cāng)室清潔：FEI CryoCleaner、FEI 集成的等離子清洗器 ? 分析：EDS、EBSD、WDS、CL、拉曼 ? QuickLoader?：用于快速樣品傳輸?shù)慕粨Q倉(cāng) ? 導(dǎo)航：關(guān)聯(lián)導(dǎo)航、MAPS

2);">應(yīng)用培訓(xùn)合同 ? FEI 氣體注入：*多 2 個(gè)單位（其他配件可能會(huì)限制可用的 GIS 數(shù)）， 適用于以下材料的電子束誘導(dǎo)沉積： – 鉑– 鎢– 碳? 機(jī)械手 ? 冷凍載物臺(tái) ? 電氣探查/多探查臺(tái) ? 靜電束閘 軟件選項(xiàng) ? MAPS，適用于自動(dòng)采集大型圖像和可選的相關(guān)工作 ? iFast，提供高級(jí)自動(dòng)化功能 ? 具有網(wǎng)絡(luò)連接的數(shù)據(jù)歸檔軟件 ? 高級(jí)圖像分析軟件 文檔 ? 在線(xiàn)用戶(hù)指南 ? 使用說(shuō)明手冊(cè) ? 在線(xiàn)幫助 ? 適用 RAPID（遠(yuǎn)程診斷支持） ? 免費(fèi)訪(fǎng)問(wèn)“FEI for Owners”在線(xiàn)資源 保修和培訓(xùn) ? 1 年保修 ? 可選服務(wù)維護(hù)合同 ? 可選操作/

35,31,32);">) 安裝要求 （請(qǐng)參考安裝前指南，以獲取詳細(xì)數(shù)據(jù)） ? 電源： – 電壓：100 - 240 V AC（-6%，+10%） – 頻率：50 或 60 Hz (±1%) – 能耗：< 3.0 kVA（基本款顯微鏡） ? 接地電阻：< 0.1 Ω ? 環(huán)境： – 溫度：(20 ± 3)°C – 相對(duì)濕度：低于 80% – 雜散 AC 磁場(chǎng)：在 20 ms（50 Hz 電源）或 17 ms（60 Hz 電 源） 線(xiàn)時(shí)間下，< 40 nT（異步）或 < 100 nT（同步） ? *小門(mén)尺寸：0.9 m 寬 × 1.9 m 高 ? 重量：鏡筒控制臺(tái)為 980 kg ? 建議使用干氮進(jìn)行放氣 ? 干凈、干燥且無(wú)油的 4 - 6 bar 壓縮空氣 ? 系統(tǒng)水冷卻裝置 ? 噪音：根據(jù)相關(guān)聲譜進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)調(diào)查 ? <span style=";font-size:13px;font-family:FZLTXHK;col