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超高溫退火爐

超高溫退火爐

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拉普拉斯新能源科技股份有限公司

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品牌：

拉普拉斯

型號：

超高溫退火爐

關注度：

1314

產品介紹

項   目

高溫退火激活爐

功  能

?  用于SiC、GaN等高溫退火活化工藝 

?  滿足各種真空、氣氛高溫退火的激活工藝

重要參數

?  **晶圓尺寸：滿足6寸以下晶圓工藝要求 

?  **載片量：50片/批 

?  **加熱溫度：2000℃

裝卸片方式

?  立式垂直升降 

?  立式真空密封系統

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超高溫退火爐

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