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YCVD-1706系統(tǒng)由高溫管式爐

YCVD-1706

直接聯(lián)系

杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

1萬元以下

品牌:

上海煜志

型號:

YCVD-1706

關(guān)注度:

6680

創(chuàng)新點:

YCVD-1706系統(tǒng)由高溫管式爐,高真空擴散泵/分子泵系統(tǒng),多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng),自動壓強控制系統(tǒng)等組成。可實現(xiàn)本底真空達0.001—0.0001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴散試驗

應(yīng)用行業(yè):

適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長等場所

產(chǎn)品介紹

YCVD-1706系統(tǒng)由高溫管式爐,高真空擴散泵/分子泵系統(tǒng),多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng),自動壓強控制系統(tǒng)等組成。可實現(xiàn)本底真空達0.001—0.0001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴散試驗, 適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長等場所。

主要功能和特點:           

1、  真空系統(tǒng)可根據(jù)使用要求選擇我司擴散泵機組或分子泵機組;

2、  可配合壓強控制儀控制氣體壓力實現(xiàn)負壓的精準控制;

3、  數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計,流量顯示儀等組成,實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制;

4、  每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統(tǒng)的安全可靠。

5、  采用水冷KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;

6、  管路采用世界**Swagelok卡套連接,不漏氣;

7、  超溫、過壓時,自動切斷加熱電源及流量計進氣,保證設(shè)備及實驗的安全性。

主要技術(shù)參數(shù):

 

SGL-1700

高溫爐

控溫方式

采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能,并可編制50段升降溫程序。

加熱元件

進口1700型優(yōu)質(zhì)硅鉬棒

工作電源

AC220V  50Hz/60Hz

額定功率

6kw

爐管材質(zhì)

99氧化鋁剛玉管

爐管尺寸

Φ60/80/100*/1000mm

工作溫度

≤1600℃

**溫度

1650

恒溫精度

±1℃

升溫速度

≤10℃/min

測溫元件

B型熱電偶

密封方式

不銹鋼水冷KF法蘭擠壓密封

 ZK

真空系統(tǒng)


ZK-F

ZK-K

真空范圍

0.1-0.001Pa

0.1-0.01Pa

極限真空

5.0*10^-5Pa

5.0*10^-4Pa

產(chǎn)品配置

雙級旋片真空泵+分子泵

雙級旋片真空泵+擴散泵

冷卻方式

風(fēng)冷

水冷

抽 速

110L/S

100L/S

測量方式

復(fù)合真空計

真空規(guī)管

電阻規(guī)+電離規(guī)

ZDC-I

壓強控制系統(tǒng)

測量范圍

1*10^5~1*10^-1 Pa

穩(wěn)壓(真空)范圍

1*10^3~1*10Pa

壓力(穩(wěn)定精度)

±3%

控制范圍

2.5*10^3~5*10^-1 Pa

控制精度

± 1%

 

 

HQZ-

混氣系統(tǒng)

 

控制方式

D07-7K質(zhì)量流量計,D08流量顯示儀

流量規(guī)格(可訂制)

0-500SCCM /0-1SLM,

線 性

±1%F.S.

準確度

±1%F.S.

重復(fù)精度

±0.2%F.S.

響應(yīng)時間

≤2sec

耐 壓

3MPa

氣路通道

3通道(根據(jù)客戶需求)

針 閥

316不銹鋼

管 道

Φ6mm不銹鋼管

接 口

SwagelokΦ6mm

 


產(chǎn)品咨詢

YCVD-1706系統(tǒng)由高溫管式爐

YCVD-1706

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