粉體行業(yè)在線展覽
碳化硅沉積爐
面議
湖南烯瑞
碳化硅沉積爐
1000
用途:
CVD氣相沉積爐用于燒結(jié)碳碳及碳陶復(fù)合材料產(chǎn)品.
主要配置:
1.臥式爐體,雙層爐體結(jié)構(gòu),水冷夾套設(shè)計。
2.爐膛內(nèi)由發(fā)熱元件,保溫層,測溫?zé)犭娕迹O(jiān)測熱電偶組成
3.發(fā)熱元件沿爐膛內(nèi)壁均勻布置,有利于加熱,溫度均勻性好
4.PLC加觸摸屏/工控機操作方式,有報警功能,自動化程序高,安全可靠
技術(shù)特征:
1.采用進的控制技術(shù),能精確控制MTS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動范圍小;
2. 采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
3. 采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
4. 對沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物能進行有效處理;
5. 采用全新設(shè)計防腐蝕真空機組,持續(xù)工作時間長,維修率極低。
產(chǎn)品規(guī)格:
參數(shù)型號 | VCVD-0508- SIC | VCVD-1218- SIC | VCVD-1520- SIC |
工作區(qū)尺寸W×HXL(mm) | 600×600×1200 | 1000×1000×1200 | 1200×1200×2000 |
裝載重量(kg) | 300 | 1000 | 2000 |
溫度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 |
溫度均勻性(℃) | ±7 | ±10 | ±10 |
加熱功率(kW) | 130 | 300 | 500 |
極限真空度(Pa) | 20 | 20 | 20 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
HTBL
DNN430C/630C/460C/660C
BAF1200真空氣氛爐
特殊高比重材料高真空燒結(jié)爐
VHP-H 真空熱壓爐(臥式)
AMB真空釬焊爐
PWS系列真空石墨化爐
HVSF
DGBZ型
無
略
3D打印專用脫脂爐