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單腔立式外延爐

單腔立式外延爐

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杭州晶馳機電科技有限公司

浙江

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

杭州晶馳

型號:

單腔立式外延爐

關注度:

982

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品詳情

       1、相較現(xiàn)有立式外延爐有更低的硬件成本,更小的占地面積;

   

       2、兼容4/6寸晶圓外延生長,成膜質(zhì)量好,可實現(xiàn)厚外延層快速生長;

   

       3、更長的維護周期,更低的耗材成本;


產(chǎn)品咨詢

單腔立式外延爐

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