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技術(shù)參數(shù)

掃描方式

樣品掃描

針尖掃描

樣品尺寸

**直徑40mm

**高度15mm

**直徑100mm

**高度15mm

樣品重量

**100g

**300g

XY樣品定位

5×5mm

定位精度

分辨率：5μm 靈敏度：2μm

掃描范圍

100×100×10μm

3×3×2.6μm

100×100×10μm

50×50×5μm

**200×200×20μm (DualScan^TM模式)

非線性度，XY

（帶有閉環(huán)傳感器）

=0.1%

=0.15%

Z方向噪音水平（1000Hz帶寬時的RMS）

帶有傳感器

0.04nm（典型值）

=0.06nm

0.06nm（典型值）

=0.07nm

不帶傳感器

0.03nm

0.05nm

XY方向噪音水平（200Hz帶寬時的RMS）

帶有傳感器

0.2nm（典型值）

=0.3nm(XY 100μm)

0.1nm（典型值）

=0.2nm(XY 50μm)

不帶傳感器

0.02nm(XY 100μm)

=0.001nm(XY 3μm)

0.01nm (XY 50μm)

線性度評價誤差（帶有傳感器）

±0.5%

±1.2%

光學(xué)觀察系統(tǒng)

光學(xué)分辨率

1μm

3μm

視野

4.5-0.4mm

2.0-0.4mm

連續(xù)變焦

是

是