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 產品介紹

曦合超導提供的探針平臺在半導體-MEMS-超導材料探測等領域是重要的高科技科研設備，有著不可替代的重要作用。

通過微米級別的探針頭和光學顯微鏡，可實現在材料介觀水平提供低溫物理電學測試、微波探測及可視化成像等功能。

在整個溫度范圍內的IV和CV曲線測試、微波測試、光電測試、表征變磁環境下的磁輸運特性、理解載流子濃度的霍爾效應測試，和其他材料的研究。

該設備提供了一個可以引入電學、光學及微波信號的低溫、真空、帶磁場的環境，由探針臂引入信號、由閉循環制冷機實現低溫制冷、由真空杜瓦提供真空環境、由超導磁體提供高強度磁場。

 關鍵核心技術

• 超導磁體技術：閉循環垂直磁場超導磁體探針臺實現達到6T的磁場，通過自主搭建的電磁-機械-傳熱多物理場耦合下的優化設計算法，實現了低損耗-高穩定性的緊湊結構超導磁體系統設計與制備。

• 快降溫高傳導的制冷技術：采用雙級G-M制冷機冷卻的低溫系統，對結構材料進行熱物性測試，并應用于系統中的熱傳導結構和熱沉結構；使用熱開關技術實現4 K溫區的快速降溫。

• 熱開關技術：采用低溫熱開關技術實現了樣品臺溫度的快速調控 技術參數

 產品詳情

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  圖 低溫探針平臺產品效果圖

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 應用領域

半導體晶圓、凝聚態物理、光電測試、超導材料、納米電子學、磁性&自旋電子學、有機&分子電子學、量子器件、微波電子學、低噪音射頻、鐵電體薄膜、低溫電子學。