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CFD系列精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)
直接聯(lián)系
易威奇有限公司
廣東
面議
易威奇
CFD系列精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)
491
高分辨率
*小流量達(dá)1mL/shot，為晶圓清洗過(guò)程中所需的化學(xué)凝結(jié)控制，提供更高的準(zhǔn)確性。
CFD系列能提供準(zhǔn)確流量，防止過(guò)量添加或液體浪費(fèi)。此外，防虹吸設(shè)計(jì)防止意外吸入。
耐腐蝕過(guò)流端
氟材質(zhì)口過(guò)流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導(dǎo)體加工所用的強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和雙氧水。
針對(duì)化學(xué)腐蝕，PTFE / PFA / PP / PVC材質(zhì)外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護(hù)。
寬廣的吐出率調(diào)節(jié)
打開(kāi)底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調(diào)節(jié)沖程長(zhǎng)度 (出廠默認(rèn)設(shè)定是1.0ml/shot)。
配備泄漏傳感器
每臺(tái)泵都配有泄漏傳感器，可實(shí)時(shí)檢測(cè)任何泄漏情況。
**吐出量 | 1 mL/shot |
**吐出壓力 | 0.05 MPa |
**沖程率 | 30 spm |
主要材質(zhì) | PTFE, PFA, PCTFE |
液體輸送溫度范圍 | 20 ~ 60 °C |
產(chǎn)品咨詢
CFD系列精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)
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