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美國(guó)AST光譜反射薄膜分析儀SR300

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北京燕京電子有限公司

美國(guó)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

關(guān)注度:

1411

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

SR系列薄膜分析產(chǎn)品來(lái)自美國(guó)AST(Angstrom Sun)公司,其可以實(shí)現(xiàn)薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測(cè)量,同樣對(duì)于材料NK參數(shù)也可以實(shí)現(xiàn)測(cè)量,為人們針對(duì)薄膜進(jìn)行分析提供了極大便利。

特點(diǎn)

· 易于安裝

· 容易操作的基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件

· 先進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì),以確保能發(fā)揮出**的系統(tǒng)性能

· 基于陣列設(shè)計(jì)的探測(cè)器系統(tǒng),以確保快速測(cè)量

· 獨(dú)特的光源設(shè)計(jì),有著較好的光源強(qiáng)度穩(wěn)定性

· 有四種方法來(lái)調(diào)整光的強(qiáng)度:

§ 通過(guò)電源的調(diào)節(jié)旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)電源輸出的大小

§ 在光輸出端口濾光槽內(nèi)調(diào)整濾光片來(lái)調(diào)整

§ 調(diào)整光束大小

§ 通過(guò)TFProbe軟件,在探測(cè)器里調(diào)整積分時(shí)間

· *多可測(cè)量5層的薄膜厚度和折射率

· 在毫秒的時(shí)間內(nèi),可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數(shù)

· 能夠用于實(shí)時(shí)或在線的厚度、折射率測(cè)量

· 系統(tǒng)配備大量的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫(kù)

· 對(duì)于每個(gè)被測(cè)薄膜樣品,用戶可以利用先進(jìn)的軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫(kù)、也可以進(jìn)行色散或者復(fù)合模型(EMA)測(cè)量分析;

· 可升級(jí)至MSP(顯微分光光度計(jì))系統(tǒng),SRM成像系統(tǒng),多通道分析系統(tǒng),大點(diǎn)測(cè)量。

· 通過(guò)模式和特性結(jié)構(gòu)直接測(cè)量。

· 提供的各種配件可用于特殊結(jié)構(gòu)的測(cè)量,例如通過(guò)曲線表面進(jìn)行縱長(zhǎng)測(cè)量。

· 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。

系統(tǒng)配置:

· 型號(hào):SR300

· 探測(cè)器: 2048像素的CCD線陣列

· 光源:高穩(wěn)定性、長(zhǎng)壽命的鹵素?zé)?/span>

· 光傳送方式:光纖

· 臺(tái)架平臺(tái):特殊處理鋁合金,能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量、200mmx200mm的大小

· 軟件: TFProbe 2.2版本的軟件

· 通訊接口:USB的通訊接口與計(jì)算機(jī)相連

· 測(cè)量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率

· 電腦硬件要求:P3以上、*低50 MB的空間

· 電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A

· 保修:一年的整機(jī)及零備件保修

選項(xiàng)

?

1用于傳遞和吸收測(cè)量的傳動(dòng)夾具(SR300RT) )

2.*低可測(cè)量直徑為5μm(MSP300)

3. 在多個(gè)位置下,多個(gè)通道用于同時(shí)測(cè)量(SR300xX)

4. 在超過(guò)200或300毫米晶片上所進(jìn)行的統(tǒng)一測(cè)繪(SRM300-300/200)

規(guī)格:

· 波長(zhǎng)范圍:400到1100 nm

· 光斑尺寸:500μm至5mm

· 樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm

· 基板尺寸:*多可至50毫米厚

· 測(cè)量厚度范圍:20nm到50μm

· 測(cè)量時(shí)間:*快2毫秒

· 精確度:優(yōu)于0.5%(通過(guò)使用相同的光學(xué)常數(shù),讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)

· 重復(fù)性誤差:小于1Ǻ

應(yīng)用:

•半導(dǎo)體制造(PROxide, Nitride..)

液晶顯示(ITOPRcell gap... ..

醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等

油墨,礦物學(xué),顏料,墨粉

醫(yī)藥,中間設(shè)備

光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

半導(dǎo)體化合物

MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

非晶體,納米材料和結(jié)晶硅

…………

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薄膜物性分析儀器系列(膜厚,光學(xué)參數(shù)反射譜及顏色,膜面阻,等)

膜厚,光學(xué)參數(shù):

SR100 薄膜分析儀

SR300 薄膜分析儀

SR500 薄膜分析儀

SE200BA 橢偏薄膜分析儀

SE200BM 橢偏薄膜分析儀

SE200-MSP 橢偏薄膜分析儀

SE300BM 橢偏薄膜分析儀

SE500BA 橢偏薄膜分析儀

MSP100 薄膜分析儀

MSP300 薄膜分析儀

MSP500 薄膜分析儀

uRaman TechnoSpex-拉曼光譜儀及模塊

膜面阻:

EddyCus®-TF lab 2020、

EddyCus®-TF lab 4040、

EddyCus®-TF map 2020SR、

EddyCus®-TF map Hybrid 、

EddyCus®-TF inline、

EddyCus®-TF lab Hybrid

定制型

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