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一.技術配置及要求：

1、設備名稱及型號

FRA-2X1-2/EGPS-1011型電子槍及相應配件

2、技術性能指標及參數

電子槍能量范圍：5 eV to 1000 eV；

電子槍工作距離：10 mm to 50 mm；

電子束偏轉角度：±3.5^oat 5 keV；

電子槍束流：1nA 到 400 μA ；

束斑尺寸：20 mm 到 50 mm；

陰極材料：Ta/BaO/Y2O3

計算機/遠程控制能力： 通過50針D-sub接口或RS-232接口

反饋穩定功能：發射電流控制

【可選】雙柵脈沖寬度調制范圍：2 μs 到直流，重復頻率可到5kHz.

【可選】Pulsing-Capacitive脈沖寬度調制范圍：20 ns 到 100 μs；

【可選】法拉第杯