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熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF450

熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF450

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北京泰科諾科技有限公司

北京

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品牌：

北京泰科諾

型號：

熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF450

關注度：

988

產品介紹

設備名稱：熱絲 CVD 金剛石膜沉積設備

設備型號：HF450

真空腔室結構：立式前開門結構，后置抽氣系統，雙層水冷

真空腔室尺寸：Φ450mmxH500mm

真空系統：復合分子泵高真空系統

基片臺尺寸：Φ100mm

襯底溫度：600 ～ 1100℃

電源：專用熱絲電源 400A, 恒流或恒功率模式

氣路控制：4 路氣體流量控制

控制方式：PLC 觸摸屏控制

占地面積：主機 L1200mm×W1060mm×H1900mm

總功率：≥ 20kW


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熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF450

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