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高真空存桿儀

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廈門超新芯科技有限公司

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高真空存桿儀的極限真空度為10-6mBar,為原位樣品臺提供高真空存放環境,可清潔樣品臺,避免樣品臺受到污染,尤其適用于原位樣品臺。各路存桿間相互獨立,支持隨存隨取,方便研究人員對不同樣品臺的切換,觸屏控制*多可實現六路樣品臺單獨存取。系統可實現真空度檢測及真空度智能維持及漏氣報警功能。

技術參數:

1)尺寸:L*W*H=465*405*385(單位:mm),以實物尺寸為準。

2)壓力范圍:0-1000mbar

3)存桿數量:四路、六路、十二路。

4)適用電鏡樣品臺:FEIJEOLHitachi(適配)。

5)適用原位反應艙芯片:自組裝鍵合一體式芯片,加熱芯片,納流體芯片等。

6)極限真空小于等于1×10-6 mBar,工作的壓力范圍為10-5~10-2mBar

7)接口模塊含控制閥門,以在電源關閉時保持真空狀態,或在取桿時,實現存桿模塊氣體通入,加速樣品臺取出過程。

8)各路存桿相互獨立,存或取桿時互不影響,支持隨存隨取。

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