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碳膜去除設(shè)備 NE-550EX

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品牌：

萬(wàn)德思諾

型號(hào)：

碳膜去除設(shè)備 NE-550EX

關(guān)注度：

865

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品圖片：

產(chǎn)品型號(hào)：

NE-550EX

產(chǎn)品介紹：


    • 1.  Various process experience
      - Carbon for capping, SiC Trench, SiC VIA, SiC Mesa, etc.

  •  

    • 2. Smooth surface and anisotropy etching
      - Adopting ISM (Inductively Super Magnetron) source

  •  

    •  3. System line-up
      - NE-550 (1L/UL + 1 Process for carbon etching）


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碳膜去除設(shè)備 NE-550EX

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