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SU-8等離子去膠機

SU-8等離子去膠機

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北京杰能達機電設備有限公司

北京

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品牌：

北京杰能達

型號：

SU-8等離子去膠機

關注度：

816

產品介紹

用于去除SU-8這樣的厚光組層

還可以用于各向同性材料蝕刻，例如Si、SiO2、SiOxNy、W、Mo等

不受離子腐蝕的純化學腐蝕

集成RPS源（遙控/自由基等離子源）

等離子區域水冷

基板超低熱負荷

腐蝕速率高（很大范圍內不低于200μm/h）

基板尺寸可達460mm x 460mm


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SU-8等離子去膠機

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