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產品應用：

主要用于大尺寸、高品質單晶/多晶金剛石的生產制造。

主要優勢：

該產品采用全新一代碟形腔設計，是目前國內**大規模應用的碟形腔式方案，經過多年的研發攻關及技術積累，實現了2450MHZ 和 915MHZ 兩大系列全覆蓋，系列產品包括 DiaCentre-6K-D、DiaCentre-10K-D、DiaCentre-36K-D、DiaCentre-50K-D、DiaCentre-75K-D等。經過批量應用驗證表明，該裝備具有成熟、可靠性高、批量致性好、腔體易潔操作、可避免石英刻蝕污染、等離子體覆蓋面積大的突出特點。