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PVD大面積磁控鍍膜設備JCPF2600

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北京泰科諾科技有限公司

北京

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品牌:

北京泰科諾

型號:

PVD大面積磁控鍍膜設備JCPF2600

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126

產品介紹

設備名稱:PVD大面積磁控鍍膜設備

設備型號:JCPF2600

鍍膜方式:磁控濺射

真空腔室結構:SUS304 方箱式

真空腔室尺寸:L2600mmxH700mmxW260mm

極限真空:優于 5.0x10-5Pa

基片臺尺寸:300mmx400mm向下兼容300mmx300mm

基片溫度:常溫

濺射靶:矩形平面靶1套,旋轉柱狀靶2套

控制方式:PLC/PC 控制 ( 可選 )

占地面積:15000mmx5000mm

供電總功率:≥ 20kW 三相五線制

1. 大面積,復合型,批量制備,潔凈真空不同功能復合涂層制備,可獲得更高電池轉換效率;

2. 廣泛應用于鈣鈦礦空穴傳輸層及金屬背電極等膜層的制備;

3. 技術先進、設計優化,性價比高,性能穩定,使用維護成本低;


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PVD大面積磁控鍍膜設備JCPF2600

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