粉體行業(yè)在線展覽
粉體行業(yè)在線展覽
HSM-F系列
直接聯(lián)系
合美半導(dǎo)體（北京）有限公司
北京
面議
合美半導(dǎo)體
HSM-F系列
839
【設(shè)備特點(diǎn)】
□ 獨(dú)立操控系統(tǒng)，整機(jī)防腐；
□ 夾具配備數(shù)字厚度監(jiān)測裝置；
□ 自動控制和智能的裝載/卸載系統(tǒng)；
□ 在線實(shí)時(shí)磨拋盤溫控及冷卻沖洗；
【設(shè)備參數(shù)】
【技術(shù)應(yīng)用】
適用材料 主要針對碳化硅、氮化鎵、藍(lán)寶石、金剛石等硬性材料進(jìn)行研磨和拋光工藝。
應(yīng)用領(lǐng)域 選擇不同的工位數(shù)量和備件配置，機(jī)臺可適應(yīng)研發(fā)及多種規(guī)格量產(chǎn)。
【設(shè)備說明】
○ 填料系統(tǒng)自動控制，滴料速度可調(diào)；
○ 夾具擺幅及速度可精確控制，且擺幅范圍：0－100%；
○ 夾具壓力可調(diào)，可調(diào)范圍可達(dá)50kg；
○ 樣品去除厚度可控，去除量精度1μm；
○ 配有獨(dú)立真空單元，樣片通過真空吸附固定到夾具上面；
○ 可選配盤溫監(jiān)控功能，監(jiān)測精度1℃；
○ 整機(jī)全防腐處理，可通過觸摸屏交互界面設(shè)置工藝參數(shù)，系統(tǒng)可儲存多達(dá)200條工藝菜單；
○ 自動化程度高，整機(jī)操作便捷，運(yùn)行穩(wěn)定，維護(hù)方便，可靠性強(qiáng)；
○ 可通過配置不同的硬件及耗材，實(shí)現(xiàn)多種配置及工藝方案以滿足用戶對不同材料及尺寸等的多種技術(shù)要求；
○ 研磨拋光盤轉(zhuǎn)速可自主設(shè)定，轉(zhuǎn)速范圍為0-200rpm；
○ 工作時(shí)間可自主設(shè)定，連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間可達(dá)10個(gè)小時(shí)；
○ 可獨(dú)立顯示并指示實(shí)際工作時(shí)長，在完成既定工藝程序后自動關(guān)機(jī)。
【系列型號】
