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>碳化硅 (SiC)

碳化硅 (SiC)

4H-6H

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江陰皓睿光電新材料有限公司

江蘇

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面議

型號:

4H-6H

關注度:

841

產品介紹

碳化硅(SiC)是Ⅳ-Ⅳ族二元化合物也是元素周期表Ⅳ組元素中**的穩定固態化合物是一種重要的半導體材料。 它具有優良的熱學、力學、化學和電學性質不僅是制作高溫、高頻、大功率電子器件的優質材料之一,也可以用作基于GaN的藍色發光二極管的襯底材料。目前用于襯底的碳化硅以4H為主,導電類型分為半絕緣型(非摻、摻雜)與N型。

 


常用規格:

4H-N型碳化硅晶片

尺寸2英寸直徑50.8mm  |  4英寸直徑100mm  |  6英寸直徑150mm

晶向off axis 4.0toward <1120> ± 0.5?

電阻率<0.1 ohm.cm

表面粗糙度Si面 CMP Ra <0.5nm, C面 Ra <1 nm

 

4H-半絕緣型碳化硅晶片

尺寸2英寸直徑50.8mm  |  4英寸直徑100mm  |  6英寸直徑150mm

晶向on axis {0001} ± 0.25?

電阻率>1E5 ohm.cm

表面粗糙度Si面 CMP Ra <0.5nm, C面 Ra <1 nm

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