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高真空管式爐
直接聯系
青島育豪微電子設備有限公司
山東
面議
育豪微電子
358
設備性能指標
1
工位數
1-2管（可依據實際生產工藝設計）
2
額定溫度
900℃
3
工藝溫度
500℃-800℃
4
加熱溫區段
3-5段獨立控溫，（可依據實際生產工藝設計）
5
系統極限真空度
≤5*10-4Pa
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YCVD-1706
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