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>立式爐

立式爐

立式爐

直接聯(lián)系

中國電子科技集團公司第四十八研究所

湖南

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

電子科技

型號：

立式爐

關(guān)注度：

553

產(chǎn)品介紹

  • 序號

    指標名稱

    主要技術(shù)指標

    1

    晶圓尺寸

    8英寸

    2

    **溫度

    1100℃（石英）

      1250℃（碳化硅）

    3

    控溫精度

    ≤±0.5℃

    4

    溫度均勻性

    ≤±1℃

    5

    升溫速率

    0-10℃/min

    6

    **裝載量

    170片

    7

    有效工作區(qū)域

    Φ230mm×780mm

    8

    溫區(qū)數(shù)量

    5

    9

    氣路數(shù)量

    4

    10

    片內(nèi)均勻性（WIW）

    ≤2%

    11

    片間均勻性（WTW）

    ≤2%

    12

    批間均勻性（RTR）

    ≤2%

    13

    新增顆粒

    ≤50（≥0.16μm）

    ≤30（≥0.2μm）

    14

    金屬污染

    <5E10 atms/cm2



產(chǎn)品咨詢

立式爐

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請?zhí)顚懩碾娫挘?

請?zhí)顚懩泥]箱：*

請?zhí)顚懩膯挝?公司名稱：*

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