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氮化鎵（GaN）MOCVD系統

氮化鎵（GaN）MOCVD系統

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上海翱晶半導體科技有限公司

上海

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面議

品牌：

上海翱晶

型號：

氮化鎵（GaN）MOCVD系統

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828

產品介紹

GaN 6寸/8寸外延爐


EPIREVO G8是日本株式會社東芝的子公司紐富萊（NuFlare）的主要產品之一。

EPIREVO G8通過在在200㎜Si襯底上高質量的高速成膜，

從而降低功率器件和RF器件成本的MOCVD裝置，為實現低碳社會做出貢獻。

高生產性

GaN膜能夠達到9μm/hour以上的高速生長

能夠達到200℃/minute以上的高速升溫


高品質

200mm晶片面內2度以內的**溫度分布


低成本

TMG可以達到20%以上的高利用率

In-Situ清潔功能帶來的高生產效率


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