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顯影設備

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盛美半導體設備（上海）股份有限公司

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面議

品牌：

盛美半導體

型號：

顯影設備

關注度：

1160

產品介紹

顯影設備

應用領域

? 曝光后烘烤 (PEB)

 

? 顯影

 

? 堅膜

主要優勢

三種顯影方式集于一體

靈活的噴嘴掃描系統

技術先進，使用便捷

精確的藥液控制


特性和規格

兼容8英寸和12英寸晶片

可配至*多四個顯影腔體

雙面工藝, 每個顯影腔體內配有1到5套液體噴嘴

2到8個熱盤

2到6個冷卻盤


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