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爐室資料Puller Data
坩堝直徑 Crucible  diameter：18〞- 22〞
單晶直徑 Crystal diameter：6〞- 8〞(150-200mm)
裝料量 Charge size：60-90kg
喉管直徑 Throat Diameter：14 ”(356mm)
主爐膛內(nèi)徑 Main furnace Diameter：￠1000mm
主爐膛高度 Main furnace Height：1250mm
爐門(mén)開(kāi)口尺寸 Pull Chamber Door Opening：15”×82”（380mm×2082mm）
主真空泵抽速 Vacuum Pumps-Main：221 cfm (6,260 l/min)
輔助真空泵抽速 (Recommended) Aux：60 cfm (1700 l/min)
排氣方式 Exhaust：底排氣 Exhaust end
副室類(lèi)型 Deputy room type：全開(kāi)門(mén) Full-door
爐蓋類(lèi)型 Lid Type：穹頂 Dome
磁場(chǎng)類(lèi)型 Field type：勾型、水平型（可選） hook type, horizontal type (optional)
有導(dǎo)流筒提升、激光測(cè)距、CCD控徑
There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
可提供二次加料 providing secondary feed

坩堝驅(qū)動(dòng)單位 Crucible drive unit
提升速度 Lifting speed：  0-10 in/hr (0-254mm/hr)
*快提升速度 Crucible Jog Speed： (>250mm/min)
行程 Stroke：  18〞(457mm)
轉(zhuǎn)速 Rotation speed： 0-20 rpm(可逆)

籽晶驅(qū)動(dòng)單位 Crystal drive unit
提升速度 Lifting speed： 0-20 in/hr (0-508mm/hr)
快速提升速度 Seed Jod Speed： 20 in/min (508mm/min)
轉(zhuǎn)速 Rotation speed： 0-50 rpm(可逆)

廠務(wù)要求Utilities
電源電壓（Source Voltage） ：380V±10%
頻率 （Frequency）：50/60 Hz
加熱功率 (Heating Power）：IGBT 165KW底部加熱50KW
環(huán)境溫度（Ambient Temperature）：5～40
相對(duì)濕度（Relative Humidity）：＜70%
入口端**水溫 (Maximum Inlet Temperature)：77°F (25℃)      
*小流量（Minimum Flow Rate）：78 gpm (295 l/min) total
入口出口壓力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi (2.1kg/cm2)  
主氬氣流量（Mass Flow Control(Max.)）：200 slpm
吹掃流量 (Purge Flow)：100 slpm
合計(jì)（Facility Total）：300 slpm
推薦壓力 Recommended Supply Pressure：75 psi (5.3kg/cm2)
壓縮空氣（Air）
推薦壓力 Recommended Supply Pressure：90psi (6.3kg/cm2)

控制系統(tǒng)System Control
自動(dòng)過(guò)程 Automatic process
標(biāo)準(zhǔn)PLC/PC控制 control by PLC/PC. Equipped as standard

外形尺寸Dimensions(approx.)
總高度 (closed）：6433mm
寬 Width (W)：2200mm
深 Depth (D)：2368mm