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山東力冠微電子裝備有限公司

山東

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品牌：

山東力冠

型號：

立式爐

關注度：

386

產品介紹

該設備是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一，用于大規模集成電路、 分立器件、電力電子、光電器件等行業的氧化、擴散、退火、合金等工藝。

氧化工藝：主要用于初始氧化層、柵氧化層、場氧化層等多種氧化介質層的制備工藝。

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